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去年九月十五日,nikon公司宣布研制成功250n程工艺的光刻机,造成g制程工艺的光刻机。

孙健预测,还是nikon跑在前面,但一旦gca跟上,依靠磁悬浮式双工作台系统技术,在高端光刻机市场上占据明显的优势。

一般情况下,董事长孙健不会干涉总经理魏建国和院长邓国辉的工作安排,但一天不研制成功6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机,bsec就不能为pgca提供五台6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机,也不能扭亏为盈,不能成为上市公司,不能通过资本市场直接融资。

成立pgca时,合同中注明,引进的一条gca生产的6英寸晶圆、800n程工艺的半导体生产线中,购买五台bsec生产的6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机。

半导体生产线中近四成的成本来自技术最复杂的光刻机。

一条6英寸晶圆、800n程工艺的半导体生产线中一般需要20台左右的光刻机,为了节约成本和简化工艺,采用高低搭配,最下面的晶体管层,用6台左右6英寸晶圆和800n程工艺的先进光刻机;上面做铜互连,用14台左右的6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机代替。

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